EZ6靈巧型勻膠機

EasyCoater 6靈巧型勻膠機設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
EZ6設計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

靈巧型勻膠機性能參數(shù)：

• 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
• 速度可調(diào)范圍：200-10000rpm

• 加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

• 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
• 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

• 可編程10組10步程序
• 寬電壓輸入：AC100-230V

靈巧型勻膠機特性優(yōu)點：

• 100W 直流無刷電機，PLC 控制

• 5”全彩觸摸屏
• 系統(tǒng)中英文可選

• 帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

• HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋
• 真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸：

358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)